随着自动化测量技术的发展，测量显微镜在传统的基础上有了较大的改变，主要表现在两个方面：一是成像瞄准系统已发展为使用CCD(ChargeCoupledDevice)成像瞄准技术。所成的像通过数据线传送到计算机并显示出来，这种成像方式比原来在目镜视场中所形成的图像更加直观清晰，大大降低了对线瞄准误差：二是读数装置由原来的玻璃线纹尺变为光栅尺计数。所得的数据直接传到计算机，通过特定的软件程序自动评定计算。不仅消除了人员的读数误差，同时还大幅度地提高了测量效率。

　　测量显微镜是采用用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。特别适用于录像磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试仪器。广泛地适用于计量室、生产作业线及科学研究等部门。工作台除作X、Y坐标的移动外，还可以作360度的旋转，亦可以进行高度方向做Z坐标的测量；采用双筒目镜观察。照明系统除作透、反射照明外还可以作斜光线照明。仪器进一步可连接CCD电视摄像头，作工件的轮廓放大；亦可连接计算机进行数据处理等测量。

　　MF测量显微镜特点可观察清晰无闪光正像，且视场开阔。测量精度在同类设备中Z高（符合JISB7153标准）。使用经过验证的FS光学系列高NA物镜（长工作距离型）。金相显微镜和测量显微镜的功能相结合，提供了高分辨率观察和高精度测量的方法。照明装置（反射／透射）可选用高亮度LED灯泡或卤素灯泡（必选）。利用可变孔径光阑（反射／透射）可进行无衍射观察测量。